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> 有机太阳能电池ITO 电极的光刻制备法及其研究
有机太阳能电池ITO 电极的光刻制备法及其研究
有机太阳能电池ITO 电极的光刻制备法及其研究
资料类型:
PDF文件
关键词:
ito
电极
光刻
方块电阻
资料大小:
280K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
目前有机太阳能电池是光电行业研究的热点之一。通常该器件以ITO为阳极,通过真空蒸镀的方法制作。在对器件进行测试时,ITO电极的设计制作,有利于器件的保护。用光刻技术进行ITO电极的制作,可以得到非常精细的结果。重点阐述了利用光刻方法制作优良ITO电极的注意点,包括表面清洗、曝光控制、显影控制和腐蚀工艺,其中由于不同ITO玻璃的导电层厚度、各成分含量不同,所以腐蚀工艺的研究是重点中的重点。提供了对生成光刻ITO电极的质量进行准确评价的一种简便方法。
作者:
席曦,王振交,杨辉,乔琦,季静佳,陆红艳,李果华
上传时间:
2008-08-06 13:02:24
下载次数:
101
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相关评论
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goodlifan
2011-09-20 15:03:13
henhao
jcy20061986
2011-03-02 21:45:13
挺好的。参考一下
sw3552003
2009-12-02 13:09:05
yueduzhong
sw3552003
2009-12-02 12:46:30
正在阅读中。
zjlbuaa
2009-06-26 8:43:25
很不错的资料,很有参考价值
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